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超純水装置

超純水装置

純水装置あるいは逆浸透(RO)膜装置などにより製造した水(純水)を原水として、残留するイオン類、有機物(TOC成分)、微粒子、菌体、そしてガス(溶存酸素など)を極限まで除去・低減した超純水を製造する装置です。

超純水装置フロー図

特徴

  • 比抵抗値18MΩ・cm以上の超純水が得られます。
  • 1次処理として、イオン交換法の純水製造装置、あるいはRO膜法(1段または2段)と連続電気再生式(CDI)を組み合わせた純水装置などを用います。
  • 2次処理(サブシステム)として、紫外線殺菌装置、TOC分解装置、イオン交換カートリッジ・ポリッシャー装置そしてMFやUF膜処理装置を組み合せ、所望の超純水まで純度アップします。なお、イオン交換カートリッジ・ポリッシャーは弊社にて再生処理します。
  • 超純水製造能力として、数100L/hr〜数10m³/hrまで幅広く設計製作します。
  • 精密な水質分析に基づき運転管理を診断しメンテナンスを行います。

用途

  • 半導体の洗浄用水
  • 液晶/プラズマディスプレイの洗浄用水
  • 薄膜系太陽電池の洗浄用水
  • 精密電子部品などの洗浄用水

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